工藝要求:
氦氣經(jing)氦氣(qi)凈化機(ji)(RZ-HEC-4D/6N型)后雜質含量應控制為:
純度:99.9999%
雜(za)質含量(liang):O2≤0.2PPm,H2O≤0.2PPm(即露(lu)點≤-86℃),CO+CO2≤0.1PPm,N2≤0.2PPm,S、P的氧化物≤0.1PPm。塵埃粒子(zi)數(shu)(≥0.3μm)3-5個/升。
處理氣量:4M3/h。工(gong)作壓力(li):0.1-0.9MPa
GB/T4844.1~4844.3-1995《超純(chun)氦氣(qi)》
GB50058《爆炸和火(huo)災(zai)危(wei)險環境(jing)電力裝置(zhi)設計規范(fan)》
GB7251《低壓成套(tao)開關柜》
GB150《鋼制壓力容器(qi)》
GB151《鋼制(zhi)管殼式換熱(re)器》《鋼制(zhi)壓(ya)力容(rong)器安全(quan)技術監察規程》
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